Análisis de los componentes de la SED
Introducción del proyecto
La espectrometría dispersiva de energía (EDS) es una técnica analítica utilizada para el análisis y caracterización de muestras.Por lo general se utiliza junto con un microscopio electrónico de escaneo y un microscopio electrónico de transmisión para analizar los tipos y contenidos de los elementos en la micro región del material: los rayos X característicos generados cuando el haz de electrones interactúa con el material se utilizan para proporcionar información sobre la composición química de la muestra,y la mayoría de los elementos (Be4-PU94) pueden detectarse cualitativa y semicontantativamente, y los contaminantes superficiales pueden analizarse.

Laboratorio de análisis de componentes

Principio experimental
En los microscopios electrónicos de escaneo y los microscopios electrónicos de transmisión modernos, el espectrómetro dispersivo de energía (EDS) es un accesorio importante.Comparte un conjunto de sistemas ópticos con la máquina principal, y puede realizar análisis puntuales, análisis superficiales y análisis de líneas sobre la composición química de las partes de interés en el material.

Ventajas de los EDS
(1) Velocidad de análisis rápida y alta eficiencia.Puede realizar simultáneamente análisis cualitativos y cuantitativos rápidos de todos los elementos con números atómicos comprendidos entre 11 y 92 (incluso de elementos ultraligeros como el C, N y O);
(2) Buena estabilidad y buena repetibilidad;
(3) Puede utilizarse para el análisis de componentes de superficies ásperas (fracturas, etc.)
(4) Puede medir la segregación de los componentes en los materiales, etc.

Principio de funcionamiento de los EDS
The probe receives characteristic X-ray signals → converts characteristic X-ray light signals into electrical pulse signals with different heights → amplifier amplifies the signals → multi-channel pulse analyzer encodes pulse signals representing X-rays of different energies (wavelengths) into different channels according to their heights → displays spectrum lines on the fluorescent screen → uses computers for qualitative and quantitative calculations.

Estructura de los EDS
1Detector: convierte las señales de fotones de rayos X en señales de pulso eléctrico, y la altura del pulso es proporcional a la energía de los fotones de rayos X.

2Amplificador: amplifica las señales de pulso eléctrico.

3Analista de altura de pulso multicanal: los pulsos se programan en diferentes canales según su altura, es decir,Diferentes rayos X característicos se distinguen según sus energías.

4- Sistema de procesamiento y visualización de señales: espectro de identificación, cálculos cualitativos y cuantitativos; registro de los resultados del análisis.

Análisis de la EDS
1Análisis cualitativo: Los picos del espectro EDS representan los elementos presentes en la muestra.Identificación de los elementos contenidosSi el tipo de elemento no puede identificarse correctamente, la exactitud del análisis cuantitativo final carece de sentido.pero para la determinación de elementos secundarios o en trazas, sólo tratando cuidadosamente con la interferencia de la línea espectral, la distorsión y el sistema de líneas espectral de cada elemento puede ser preciso.El análisis cualitativo se divide en análisis cualitativo automático y análisis cualitativo manualEl análisis cualitativo automático determina la posición del pico según la posición de la energía.Simplemente haga clic en el botón "Análisis de operación/calitativo" para mostrar el símbolo del elemento correspondiente en cada posición máxima del espectroEl análisis cualitativo automático tiene una velocidad de reconocimiento rápida, pero debido a la grave interferencia de la superposición de picos espectrales, se producirán ciertos errores.

2Análisis cuantitativo: El análisis cuantitativo consiste en obtener la concentración de los diversos elementos que componen el material de la muestra mediante la intensidad de los rayos X. De acuerdo con la situación real, el análisis cuantitativo se realiza en un laboratorio de laboratorio.Se ha buscado y propuesto un método para medir la relación de intensidad de muestras desconocidas y muestras estándar., y luego convertir la relación de intensidad en una relación de concentración después de la corrección cuantitativa.

3Análisis de la distribución de la superficie de los elementos: en la mayoría de los casos, el haz de electrones se dispara solo en un cierto punto de la muestra para obtener el espectro de rayos X y el contenido de componentes de este punto,que se llama el método de análisis puntualEn los nuevos SEM modernos, se pueden obtener la mayoría de los diferentes estados de distribución de los componentes de una determinada área de la muestra, es decir:el haz de electrones se escanea bidimensionalmente en la muestra, y se mide la intensidad de sus rayos X característicos,para que el cambio de brillo correspondiente a esta intensidad se sincronice con la señal de escaneo y se muestre en el tubo de rayos catódicos CRT, y se obtiene la imagen bidimensional de distribución de la intensidad característica de los rayos X. Este método de análisis se llama método de análisis de distribución superficial de elementos,que es un método muy conveniente para medir la distribución bidimensional de los elementos.